Vakuumli magnetronli püskürtme texnikasi - bu katod sirtining siljishida elektronning magnit maydoni bilan ayol, bipolyar elektrod yuzasini ishlatish, maqsadli sirt elektr maydonini magnit maydonga perpendikulyar qilib belgilash orqali elektron zarbani oshiradi, ionlanish tezligini oshiradi. gazning, yuqori energiyali zarralar esa gaz va to'qnashuvdan keyin energiyani yo'qotadi va shuning uchun pastroq substrat harorati, haroratga chidamli bo'lmagan materialga to'liq qoplama.